新品發(fā)布丨氟化氫電化學氣體傳感器正式發(fā)布——HF/MI-10

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我們很高興地宣布推出我們的高靈敏度HF/MI-10傳感器。平均靈敏度為- 500 ± 150 nA/ppm，響應(yīng)時間快，甚至可以很容易地檢測到TWA水平范圍內(nèi)的痕跡。氟化氫是晶圓生產(chǎn)中用于蝕刻和清潔工藝的主要物質(zhì)。由于其高毒性和腐蝕性，嚴格的監(jiān)測至關(guān)重要！確保您的安全設(shè)備與HF/MI-10兼容。




氟化氫（HF）也是非常難操作的一個氣體，客戶在使用氟化氫傳感器，進行標定和測試過程中同樣會遇到各種各樣的奇怪問題。 富安達智能帶您，了解氟化氫這種氣體的特性，掌握使用HF傳感器的注意事項和技巧，各種問題就可以迎刃而解。


     1、請注意氟化氫傳感器的輸出電流是負的，和CO、H2S、NH3等傳感器的輸出電流相位正好相反。如果報警器或測試電路的輸出相位不正確，可能導致表觀上呈現(xiàn)對氟化氫不響應(yīng)的假象。


      2、通氣流量保持在1000毫升/分鐘左右。 要用聚四氟乙烯（PTFE）通氣罩通氣，流量要穩(wěn)定，標定和隨后進行的驗證測試必須保持流量穩(wěn)定一致。不允許將管子直接對著傳感器吹，這樣操作氣體濃度和流速都不穩(wěn)定。


      3、必須使用腐蝕性氣體專用減壓器，即316L不銹鋼減壓器。如果使用銅質(zhì)減壓器，HF氣體會和銅發(fā)生反應(yīng)，HF濃度衰減，導致測不出HF。


      4、氟化氫極易溶于水形成氫氟酸，故很容易在減壓器、閥門、通氣管道、通氣罩的表面吸附、反應(yīng)，尤其是當標氣濃度很低時（如常用的5-10ppm），真正抵達傳感器表面的HF分子已接近零，從而嚴重影響標定和測量結(jié)果，甚至觀察不到傳感器的響應(yīng)。這種現(xiàn)象在雨天和濕度高時尤其嚴重，因為高的濕度導致減壓器、閥門、通氣管道、通氣罩的表面吸附了大量水分子，這些水分子與HF作用形成氫氟酸。因此建議多通幾次氣。通常第一次通氣效果不會理想，要通氣2到3次才會得到正常的傳感器響應(yīng)。


      5、由于HF氣體分子很易吸附和作用，因此通氣管道要用聚四氟乙烯管子。 通氣系統(tǒng)要預(yù)先多通幾次HF氣體，最佳的效果是留HF氣體在整個通氣系統(tǒng)內(nèi)，浸飽一段時間（幾個小時至24小時），讓HF分子與管道壁充分作用、吸附、飽和，然后再開始進行標定、測量的操作。


      6、對于化學性質(zhì)活躍、易吸附的氣體如HF、Cl2、HCl、H2S、O3等，通氣系統(tǒng)的“死體積（Dead Volume）"一定要小。所謂“死體積"指從氣體鋼瓶的減壓器出口、通過流量計、連接管道、到通氣罩（包括通氣罩）之間的容積總和。 理論上通3倍死體積的氣體進入通氣管路系統(tǒng)，且假設(shè)氣體分子不和途經(jīng)的管壁有任何吸附和作用，管路出口的氣體濃度才能達到約90%的鋼瓶內(nèi)氣體濃度；如果考慮氣體分子的吸附和作用，出口處氣體濃度就更低了。因此死體積要越小越好，否則死體積太大，傳感器響應(yīng)會出現(xiàn)虛假的“滯后"現(xiàn)象，表觀上好像響應(yīng)很慢，實際上是由于標準氣先要充滿和擠出這段死體積而造成的。減小死體積的方法是盡量用管徑小的管子，管子長度越短越好，通氣罩容積要盡量小并且設(shè)計合理，既能密閉氣室，又能散氣不積聚起氣壓。



綜上所述，天氣對氟化氫標定和測定有很大影響，建議最好在干燥的晴天進行標定。陰雨天由于濕度大，氟化氫分子會和水作用和吸附，影響標定結(jié)果，嚴重時甚至測不到信號。 這種現(xiàn)象南方比北方更嚴重，沿海和靠江湖地區(qū)比內(nèi)地嚴重。



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